标签： Euv
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清华研发出理想EUV光刻胶材料
快速阅读: 据相关媒体报道，清华大学许华平团队开发出基于聚碲氧烷的新型EUV光刻胶，解决了传统材料结构复杂、易产生缺陷等问题，为半导体技术发展提供新方向。 据清华大学报道，7月16日，北京，清华大学化学系许华平教授团队在极紫外（EUV）光刻 […]
发布时间：2025-07-26 16:16 来源：szf
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清华研发成功理想EUV光刻胶材料
快速阅读: 据相关媒体报道，清华大学许华平团队研发出新型聚碲氧烷光刻胶，提升EUV光刻效率，解决吸收、灵敏度与均一性难题，助力半导体技术发展。 据清华大学报道，7月16日，清华大学化学系许华平教授团队在极紫外（EUV）光刻材料上取得重要进展 […]
发布时间：2025-07-26 09:58 来源：szf
