快速阅读: 据《Tom 的硬件》称,中科院研发出深紫外激光器,可发射193纳米相干光,有望用于半导体光刻工艺。此技术若规模化应用,将提升芯片制造精度。虽规模化路径未明,但成果为技术进步奠定基础,显示我国在高端芯片制造领域的努力与竞争力。 据 […]