快速阅读: 据尼康公司消息,其正加速开发新一代半导体对准设备Litho Booster 1000,计划2026年下半年上市,可提升套刻精度并兼容多厂商光刻机,以应对3D先进制程中晶圆形变挑战,提高生产良率。 尼康公司近日宣布,正加速推进新一 […]