日本产综研构建 12 英寸先进工艺共享中试线，支持 GAA 晶体管
发布时间：2025年11月24日
来源：szf
快速阅读: 日本产综研建成首条12英寸晶圆中试线，支持GAA晶体管试制，助力半导体企业测试自研设备材料，降低成本，保障知识产权，加速研发进程，提升国际竞争力。
IT之家 11 月 24 日消息,日本产业技术综合研究所(IT之家注:即产综研、AIST)本月初宣布,该机构成功建设了日本境内首条支持最先进工艺的 12 英寸晶圆共享中试线, 支持 GAA 全环绕栅极晶体管试制 。
在这一中试线平台上,日本半导体供应链上下游企业 可应用测试其自研设备 / 材料,进行对尖端工艺的适用性验证 ,加速日本半导体产业研发进程,提升日本半导体设备与材料企业国际竞争力。
这条中试线由产综研与 TEL、SCREEN、佳能合作建设, 降低了日本企业和学术界进行先进工艺开发与测试的成本 ,同时保障了相关的知识产权安全。
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