Thermo Fisher 推出 Vulcan 自动化实验室，通过 AI 和 TEM 自动化加速半导体分析

快速阅读: 据《药物发现与开发》称，赛默飞世尔发布**火山自动化实验室**，集成机器人处理、AI图像分析和高通量TEM计量，助力半导体工艺控制。该系统通过全自动化流程提升效率，弥合数据延迟，推动芯片制造向智能化发展。

赛默飞世尔科技发布了**火山自动化实验室**（Vulcan自动化实验室），这是一个完全集成的系统，旨在简化透射电子显微镜（TEM）的工作流程并提升半导体工艺控制。在全球对先进芯片需求的压力下，行业正面临越来越大的压力，需要以高产量实现原子级精度。**火山系统**将机器人样品处理、人工智能（AI）增强成像和高通量TEM计量整合到一个统一平台上。赛默飞世尔声称，这种方法可以减少人工瓶颈，并提高半导体制造中关键测量的一致性和速度，以应对下一代芯片制造的需求。

随着半导体器件尺寸缩小且复杂度增加，对原子分辨率分析工具的需求迅速增长。透射电子显微镜是检查材料结构、工艺节点和纳米及原子尺度失效点的关键技术。传统上，半导体实验室的TEM工作流程需要专业操作人员，并且在成像与可操作数据之间存在较长延迟。**火山自动化实验室**通过从样品加载到数据分析的整个工作流程自动化，同时与制造环境集成以实现实时实验室到工厂的数据交换，从而弥合这一差距。

**火山系统的独特之处**是什么？据赛默飞世尔称，**火山系统**是首批商用的系统之一，结合了以下特点：

– **全自动化材料处理**
– **AI驱动的图像分析**
– **自动化、高通量TEM计量**
– **与半导体工厂运营的数字化集成**

这使其区别于许多现有的电子显微镜系统，后者通常依赖于半自动或模块化附加组件，并可能缺乏与工厂基础设施的直接连接。该系统旨在帮助制造商减少数据获取时间，缓解分析实验室日益加剧的劳动力短缺问题，并解决快速增长的产量分析需求。赛默飞世尔声称它能够加速工艺开发周期，并在大批量生产环境中实现更快的决策。

**行业背景与展望**。**火山系统**的推出反映了行业向自动化计量、AI增强成像以及实验室到工厂集成的趋势发展。来自JEOL、日立的竞争工具以及英特尔和IMEC等芯片制造商的内部系统引入了各种自动化和成像功能。然而，完全集成且可商用的平台仍较为稀缺。
**火山自动化实验室**的问世标志着半导体制造迈向智能化和高效化的里程碑，为行业注入了新的活力。

(以上内容均由Ai生成)