电子束光刻机 – 数智风暴7006

时政

精度 0.6 纳米，全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”

2025年8月14日

快速阅读: 8月14日，杭州，浙江大学成果转化基地

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精度 0.6 纳米，全国首台国产商业电子束光刻机在杭“出炉”

2025年8月14日

快速阅读: 8月14日，杭州，浙江大学成果转化基地